<strike id="d8ab4"></strike>
  • <rp id="d8ab4"></rp>
    <span id="d8ab4"></span>
      <em id="d8ab4"><samp id="d8ab4"></samp></em>
    1. <s id="d8ab4"><samp id="d8ab4"><listing id="d8ab4"></listing></samp></s>
      <span id="d8ab4"><pre id="d8ab4"></pre></span>

        • IIANews微官網
          掃描二維碼 進入微官網
          IIANews微信
          掃描二維碼 關注微信
          移動客戶端
        • English
        2021 IAS展
        測試測量

        雷尼紹教您了解如何提升制程穩定性!

          2021年07月23日  

          韓國運動平臺制造商VAD Instrument(以下簡稱VAD)主要為客戶開發定制化的精密運動平臺,當中包括提供給需要在真空環境下工作的制程設備。

        真空應用與要求

          許多精密工業制程都必須在真空環境下進行,目的是減少任何氣體分子在制程中對加工品的影響。而制程中所涉及到的相關運動控制零組件如導軌,基體等金屬材料,以及電機散熱問題,則需要經過嚴格考慮,并采用兼容真空環境的光柵系統,包括耐高溫、高潔凈度、降低整體氣體量釋出等特殊設計。

        半導體真空平臺

        TONiC UHV超高真空兼容光柵

          目前VAD大部分平臺型號均采用雷尼紹TONiC系列光柵系統,視精度要求配置不同種類的柵尺。

        TONiC UHV光柵系統

          VAD總裁Song, Baek-Kyun先生說道:“VAD一般平臺型號配置RTLC系列鋼帶柵尺,如果涉及真空應用、像顯示面板AOI檢測設備或半導體制程設備等,我們會配置更高精度的RELM系列柵尺,配置兼容真空的TONiC讀數頭,連接到位于真空腔外的接口。

          另外我們開發用于半導體EUV光刻機的膜板檢測設備,由于精度要求達到ppm等級,需要采用雷尼紹高端的RLE系列激光尺定位系統,激光發射頭安裝在XY平臺上,而雷尼紹可以提供性能穩定的激光尺,這在市場上比較少見?!?/P>

        真空平臺配置RLE激光尺系統

          雷尼紹TONiC UHV超高真空兼容光柵系列,從讀數頭、電纜到柵尺都是必須經過專門設計,真空壓力高達10-10 Torr,讀數頭配置RFI屏敝線纜,其基本工作原理,規格性能與我們在大氣壓下使用的標準型TONiC型號無異。

          但是,UHV光柵的讀數頭在設計上消除了氣密孔,并且由高潔凈的真空兼容材料和粘合劑特制而成,以避免對加工產品質量造成損壞。

        近乎零的熱膨脹系數柵尺

          TONiC光柵可搭配多款不同特性的柵尺,并且適合在真空環境應用。Song,Baek-Kyun先生解釋他們選擇柵尺的準則:“我們部分高端機型,采用了雷尼紹RELM系列柵尺,主要看中它近乎零的熱膨脹系數,以確保定位精度在溫差范圍變化大的環境下得以保持,要知道真空腔的溫差可達100 °C?!?/P>

          雷尼紹RELM是一款20μm柵距柵尺,在1 m長度內精度高達±1 μm,以堅固的雷尼紹專利材料ZeroMet制成,其熱膨脹系數僅為0.75±0.35 μm/m/°C(20 °C時),柵尺可利用背面自帶的不干膠帶進行安裝,同時也支持機械安裝方式以避免不干膠在真空中釋出氣體。

        XL-80激光干涉儀檢測精密直線平臺

          Song, Baek-Kyun先生繼續說:“我們看好未來真空應用設備的市場需求,尤其是半導體和顯示面板等精密工業制程。目前VAD正在開發更多相關的制程平臺。在質量管控方面,我們正在采用雷尼紹XL-80系列激光干涉儀對設備出廠前進行精度檢測,大大增加客戶對我們的設備性能表現的信心?!?/P>

        標簽:雷尼紹  我要反饋
        最新視頻
        應用視頻 | 雄克如何實現“一鉗兩用”?   
        ABB Ability? 智慧固廢電廠解決方案   
        世強
        輕松上手,直擊振動故障根源
        MOXA工業網絡新品發布會
        西克
        福祿克:最大程度降低工業以太網/生產線停工時間
        專題報道
        《建筑是凝固的音樂》ABB電氣系列大片上映
        《建筑是凝固的音樂》ABB電氣系列大片上映 ABB 網羅了遍布全球的創新建筑案例,通過精心制作的《建筑是凝固的音樂》系列視頻,向大家揭秘世界上一些獨特建筑及其建筑師的幕后故事,帶領大家一起領略那些歷久彌新、永不過時的建筑設計和解決方案。
        企業通訊
        SICK 安全激光掃描儀 microScan3
        SICK 安全激光掃描儀 microScan3

        microScan3 西克SICK 安全激光掃描儀:創新掃描技術 safeHDDM?經由以太網接口提供高度精確的測量數據

        在線會議

        社區

        <strike id="d8ab4"></strike>
      1. <rp id="d8ab4"></rp>
        <span id="d8ab4"></span>
          <em id="d8ab4"><samp id="d8ab4"></samp></em>
        1. <s id="d8ab4"><samp id="d8ab4"><listing id="d8ab4"></listing></samp></s>
          <span id="d8ab4"><pre id="d8ab4"></pre></span>